Кафедра полупровод­никовой электроники и физики полупровод­ников

Оборудование

Осциллограф с цифровым люминофором Tektronix TDS3000C


Верхняя граница полосы пропускания от 100 до 500 МГц и частота дискретизации
до 5 Гвыб/с. Осциллографы DPO предоставляют более широкие возможности для
исследования сложных сигналов Для того чтобы решить проблему, сначала
необходимо понять ее. Осциллографы серии TDS3000C объединяют в себе скорость
непрерывного захвата осциллограмм, равную 3600 осциллограмм/с, и возможностью
просмотра сигнала в режиме реального времени с градациями яркости. Благодаря
этому теперь можно быстрее выявить проблему и решить ее.

Основные характеристики:

  • число аналоговых каналов: 2, 4;
  • полоса пропускания: от 100 до 500 МГц;
  • время нарастания импульса: от 3,5 до 700 пс;
  • частота дискретизации: от 1,25 до 5 Гвыб/с;
  • длина записи: 10 тыс. точек.

Анализатор полупроводниковых приборов Agilent B1500A


Параметрический анализатор полупроводниковых приборов Agilent B1500A
(анализатор параметров полупроводниковых приборов / система для определения
характеристик полупроводниковых устройств) представляет собой функционально
законченное решение для определения характеристик устройств.

1) Разнообразные измерительные функции — от базовых измерений
вольт-амперных (ВАХ) и вольт-фарадных (ВФХ) характеристик до
расширенных измерений импульсных ВАХ, сверхскоростных измерений
ВАХ и ВАХ переходных процессов с высочайшей точностью.

2) Встроенная операционная система Windows 7 и мощное программное
обеспечение EasyEXPERT поддерживает определение характеристик
устройств на основе графического пользовательского интерфейса.

3) Лучшее решение для определения широкого спектра электрических
характеристик различных электронных устройств, материалов,
полупроводниковых приборов, активных/пассивных компонентов и схем.

4) Модульная архитектура с 10 слотами позволяет конфигурировать и
обновлять измерительные модули в соответствии с потребностями
тестирования.

E4980A Agilent прецизионный измеритель LCR


Прецизионные экспериментальные исследования полупроводниковых структур

Диапазон частот: От 20 Гц до 2 МГц, разрешение 4 разряда во всех поддиапазонах

Погрешность измерения 0,05%, высокая воспроизводимость результатов измерений
как на нижних, так и на верхних пределах измерения импеданса

Встроенный источник напряжения смещения до 40 В Источник постоянного тока
смещения до 40 А

Измерение сопротивления постоянному току Rdc

Источник измерительного сигнала до 20 В СКЗ Высокоскоростные измерения: 5,6 мс

Свипирование по списку из 201 точки

Интерфейсы LAN, USB и GPIB

Генераторы сигналов произвольной формы AFG3252


Пользователи могут выбирать из 12 различных стандартных форм сигнала.
Предоставляется возможность генерировать сигналы произвольной формы
длиной до 128 K. Предоставляется возможность подключить и добавить к
выходному сигналу внешние сигналы.

Основные характеристики:

  • сигналы синусоидальной формы c частотой до 25 МГц, 100 МГц или 240 МГц;
  • сигналы произвольной формы: 14 бит, 250 Мвыб/с, 1 Гвыб/с или 2 Гвыб/с.

Agilent 34420A нановольтметр, микроомметр 7,5 разряда


Позволяет проводить измерения напряжения постоянного тока низкого уровня,
а также обладает функциями измерения сопротивления и температуры, устанавливая
новый стандарт гибкости и производительности приборов для низкоуровневых измерений.

Краткое описание характеристик Agilent 34420A:

  • 7,5 разрядов
  • Базовая погрешность (U пост.) 0,003 %
  • Постоянное напряжение 0-100 В (разрешение 0,1 нВ)
  • Сопротивление 0-1 МОм (разрешение 100 нОм)
  • Измерение температуры (SPRT, RTD, термопара, термосопротивление, разрешение 0,001 ºС
  • Собственные шумы не более 1,3 нВ скз / 8 нВ пик
  • Измерение отношения и разности пост. напряжений
  • Скорость измерений: до 250 считываний/с

Калибратор-мультиметр (источник-измеритель SMU) Keithley 2401


Калибратор-мультиметр Keithley 2401 — это многофункциональный прибор,
объединяющий в себе возможности прецизионного источника напряжения и тока
с точным мультиметром 6,5 разрядов (измеряет напряжение, ток, сопротивление).

Разрешающая способность: 6,5 разрядов. Базовая точность (DCV): 0,012 %.

Напряжение: от 5 мкВ до 20 В (генерация), от 1 мкВ до 21 В (измерение).

Ток: от 50 пА до 1 А (генерация), от 10 пА до 1,05 А (измерение).

Сопротивление: от 100 мкОм до 200 МОм (измерение). Выходная мощность: до 20 Вт.

4-х квадрантная рабочая область (генерация напряжения/тока или работа в режиме нагрузки).

2-х, 4-х и 6-ти проводная схема подключения. Скорость: до 2 081 измерений в секунду.

Встроенный компаратор «годен / негоден» для автоматической отбраковки.

Возможность автоматического формирования серий контрольных точек.

Программное обеспечение для компьютера и драйвер LabVIEW.

Криостат для исследования спектров глубоких уровней в полупроводниковых материалах и приборах в широком диапазоне температур


Криостат азотный заливной оптический с образцом в вакууме LN-120.

Диапазон температур на образце 78K — 500K.

Время захолаживания до Т = 78K: 5 — 7 мин.

Объем азотной емкости: 0,4 л

Время удержания Т = 77,8K на одной заливке: 8 часов

Время удержания Т = 100K на одной заливке: 4,5 часа

Время удержания Т = 200K на одной заливке: 2,5 часа

Уровень вакуума для пуска криостата: 8 мТорр